超纯水设备体系工艺流程图 自来水进水 取样 保安过滤器 P Pc 原水箱 原水泵 机械过滤器 活性炭过滤器 软水器 盐箱 高压泵 P F R 紫外线 紫外线 R F 杀菌灯 杀菌灯 F F 用水点 纯水出口 P P P 调压阀 P 过滤器 不合格排放 氮气瓶 FI 0.1um过滤器 Fk 浓水回流 Fk 极水浓水 纯水 或排放 抛光混床 超纯水泵 氮封超纯水箱 极水排放 二级EDI膜堆 符号阐明: 不合格排放 P Pc F R 电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 图 3 常用的一级RO+二级EDI+MB 电子I 适合于源水硬度高 有机物含量高 电导率高(小于1000μ s/cm 18.2MΩ ·cm的超纯水设备体系 自来水进水 取样 保安过滤器 P Pc 原水箱 原水泵 机械过滤器 活性炭过滤器 软水器 盐箱 高压泵 P F R 紫外线 紫外线 R F 杀菌灯 杀菌灯 F F 用水点 纯水出口 P P P 调压阀 P 过滤器 不合格排放 氮气瓶 FI 0.1um过滤器 Fk 浓水回流 Fk 极水浓水 纯水 或排放 超纯水泵 氮封超纯水箱 极水排放 二级EDI膜堆 符号阐明: 不合格排放 P Pc F R 电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 图 4 常用的一级RO+二级EDI 适合于源水硬度高,有机物含量高,电导率(小于1000μ s/cm) 18MΩ ·cm的超纯水设备体系 C F 自来水进水 P F P 排放 P Pc 快速过滤器 原水箱 原水泵 超滤设备 高压泵 P F 反洗排放水 R 紫外线 紫外线 R F 化学计量泵 杀菌灯 杀菌灯 F F 用水点 纯水出口 P P P 调压阀 循环 P 不合格排放 泵 氮气瓶 0.1um过滤器 Fk 浓水回流 Fk 极水浓水 纯水 或排放 抛光混床 超纯水泵 氮封超纯水箱 极水排放 二级EDI膜 符号阐明: 不合格排放 P Pc F R 电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 图 5 常用的一级RO+二级EDI 电子+MB 电子I 适合于源水硬度低,有机物含量低,电导率高(小于1000μ s/cm 18.2MΩ ·cm的超纯水设备体系 C F 自来水进水 P F P 排放 P Pc 快速过滤器 原水箱 原水泵 超滤设备 高压泵 P F 反洗排放水 R 紫外线 紫外线 R F 化学计量泵 杀菌灯 杀菌灯 F F 用水点 纯水出口 P P P 调压阀 循环 P 不合格排放 泵 氮气瓶 0.1um过滤器 Fk 浓水回流 Fk 极水浓水 纯水 或排放 超纯水泵 氮封超纯水箱 极水排放 二级EDI膜 符号阐明: 不合格排放 P Pc F R 电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 图 6 常用的一级RO+二级EDI 适合于源水硬度低,有机物含量低,电导率高(小于1000μ s/cm 18MΩ ·cm的超纯水体系 图 7 是常用的一级EDI 全体系组成图。 C 自来水进水 P 取样 F 保安过滤器 不合格排放 Pc P P 原水箱 原水泵 机械过滤器 活性炭过滤器 阻垢剂加药 一级高压泵 一级反渗透设备 R P 化学计量泵 用水点 紫外线杀菌灯 R F F F 过滤器 0.1um过滤器 P P P FI 循环泵 Pc 不合格排放 极水 浓水 氮气瓶 C C 纯水 P P 抛光混床 TOC分解器 超纯水泵 氮封超纯水箱 一级EDI膜堆 纯水泵 0.2um过滤器 符号阐明: 不合格排放 P Pc F R C 电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 电导率表 图 7 常用的产水水质安稳的二级RO+一级EDI+MB 适合于源水硬度低,有机物含量高,电导率 1000μ s/cm,即 水电阻率18~18.2MΩ ·cm 的纯水体系 C 自来水进水 P 取样 F 保安过滤器 不合格排放 Pc P P 原水箱 原水泵 机械过滤器 活性炭过滤器 阻垢剂加药 一级高压泵 一级反渗透设备 R P 化学计量泵 用水点 紫外线杀菌灯 R F F F 过滤器 0.1um过滤器
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